SENTECH – Sistemi plasma e metrologia
Attiva dal 1992, SENTECH è un’azienda tedesca che si occupa principalmente di due tipologie di sistemi: macchinari per processi con plasma (etching e deposizione) e sistemi di metrologia.
I sistemi plasma sono ideali per chi ricerca flessibilità e possibilità di effettuare processi con bassi danni collaterali, grazie alla sorgente plasma PTSA (Planar Triple Spiral Antenna) sviluppata da SENTECH. I sistemi sono inoltre sviluppati di modo da avere un controllo molto preciso dei processi, anche grazie a strumenti di monitoraggio dei processi in-situ, di modo da migliorare sostanzialmente la precisione e le tempistiche dello sviluppo di processo.
Per quello che riguarda l’etching, sono disponibili modelli RIE ed ICP-RIE, oltre a modelli per DRIE e per etching criogenico. Per quello che riguarda invece i sistemi di deposizione, SENTECH offre sia sistemi per ALD e PECVD sia per PECVD, incluso ICPECVD.
L’offerta di sistemi plasma di SENTECH include modelli per differenti applicazioni e necessità, dall’R&D alla produzione. A seconda del modello, è possibile caricare campioni da piccoli pezzi di pochi centimetri, sino a fette da 8”. Su richiesta, sono disponibili anche sistemi cluster, di modo da avere processi più efficienti ed un throughput più alto.
Per un eccellente controllo qualità, caratterizzazione delle fette e sviluppo dei processi, l’offerta per metrologia di SENTECH include ellissometri, sia spettroscopici sia laser, e riflettometri.
I differenti modelli di ellissometri spettroscopici consentono di effettuare misurazioni nell’intero intervallo spettrale, e possono essere selezionati per ottenere i migliori risultati sulla base degli specifici parametri di processo. Gli ellissometri laser effettuano misurazioni contactless stabili e accurate dello spessore dei film, dell’indice di rifrazione, dell’assorbimento e del grado di polarizzazione, utilizzabili come indicatori delle caratteristiche dei substrati. I riflettometri di SENTECH misurano la riflessione ottica in modo preciso e contactless, in un range da UV a NIR, per misurare riflettività, spessore dei film e indice di rifrazione su strati singoli o multipli di semiconduttori.
Per ricevere ulteriori informazioni sulla nostra offerta completa relativa ai sistemi di SENTECH, o dettagli su un singolo modello offerto, potete contattarci direttamente alla sezione “Contatti” di questo sito.