Forni orizzontali
DEAM offre i forni orizzontali di ECM Greentech, azienda francese parte del gruppo ECM, leader nella produzione di forni industriali. L’offerta di ECM Greentech prevede modelli sia per ricerca e sviluppo, sia per la produzione.
Caratteristiche comuni ai sistemi di ECM:
- Possibilità di effettuare processi dalla pressione atmosferica al vuoto
- Possibilità di automazione del processo
- Numerose varianti rispetto alla configurazione base dei sistemi, per soddisfare ogni esigenza
- Riscaldamento a zone indipendenti per una temperatura omogenea
- Software semplice da usare, possibilità di connessione SECS-GEM con computer host del fab
ECM può fornire sistemi per fette sino ad 8 pollici, sistemi per 12 pollici sono in fase avanzata di sviluppo e possono essere considerate richieste dei clienti in tal senso.
I differenti processi possibili con i sistemi di ECM Greentech includono Annealing, ossidazione wet (SiO2), doping (boro e fosforo), diffusione, LYDOP/LYTOX ed LPCVD (ossidi, nitruri, silicio, tungsteno, SiC, SiPOS).
Forni verticali ad alta temperatura
In aggiunta ai forni orizzontali, ECM Greentech offre forni verticali ad alta temperatura, sia per la ricerca (fino a 300mm), sia per la produzione (fino a 200mm). L’applicazione principale di questi sistemi riguarda il trattamento di SiC e GaN, e particolarmente ossidazione, post-implant annealing e crescita di grafene.
Per ricevere ulteriori informazioni sulla nostra offerta relativamente ai sistemi di ECM Greentech, potete contattarci direttamente alla sezione “Contatti” di questo sito.