Annealsys – Forni RTP e sistemi DLI
In attività dal 2004, Annealsys, parte del gruppo ECM, è un’azienda francese che si occupa di sistemi per trattamenti termici (fortni RTP/RTA e forni ad alta temperatura) e sistemi di deposizione DLI (Direct Liquid Injection).
Le capacità di processo dei forni Annealsys includono RTA (Rapid Thermal Annealing), annealing post impianto, RTO (Rapid Thermal Oxidation), RTN (Rapid Thermal Nitridation), diffusione, cristallizzazione, selenizzazione e contact annealing, coprendo così un’ampia gamma di differenti applicazioni. Tra i modelli disponibili vi sono sia sistemi compatti per R&D, sia sistemi per produzione industriale con caricamento automatico, per fette di dimensioni sino ad 8”, di modo da venire incontro alle esigenze di tutti i clienti.
Sono inoltre disponibili forni per processi ad alta temperatura, ideali per applicazioni su materiali quali SiC e grafene.
L’offerta di Annealsys include anche sistemi di deposizione che sfruttano la tecnologia DLI (Direct Liquid Injection), che consente di effettuare processi ALD e CVD utilizzando, invece dei classici metodi di immissione dei precursori, quali bubbler e vapor draw, degli speciali vaporizzatori DLI, che vaporizzano nella camera di processo precursori liquidi (inclusi solidi sciolti in un liquido).
Questo metodo consente di utilizzare un numero molto più ampio di precursori rispetto alle tecnologie standard, inclusi quelli termicamente instabili, e di controllare con grande precisione il loro flusso.
Per ricevere ulteriori informazioni sulla nostra offerta di forni e sistemi di deposizione Annealsys, potete contattarci direttamente alla sezione “Contatti” di questo sito.